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中科飞测5月17日晚间披露上市公告书，公司股票将于2023年5月19日在上海证券交易所科创板上市。股票简称为中科飞测。股票代码为688361。

2022年1至12月份，中科飞测的营业收入构成为：无图形晶圆缺陷检测设备占比50.06%，图形晶圆缺陷检测设备占比25.47%，量测设备占比23.08%，其他业务占比1.4%。

中科飞测的董事长是陈鲁(CHEN LU)，男，46岁，学历背景为博士。